一（yī）、精密（mì）零件切削加工
主要有精密車削、鏡麵磨削和研磨等。在精密車床（chuáng）上用通過精細研磨的單晶金剛石車刀舉行微量車削（xuē）,切削厚度僅（jǐn）1微米左右，常用於加工有色金屬材料的球麵、非球麵和平麵的反射鏡等高精度、外表高（gāo）度光潔的零件。例如加工核聚變裝置（zhì）用的直徑為800毫米的（de）非球麵反射鏡，最高精度（dù）可達0.1微米，外表粗糙度（dù）為Rz0.05微米。
二、精密零件（jiàn）加（jiā）工
精密零件加工精度以納米，甚（shèn）至最後以原子（zǐ）單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時，超精密零件切削加工方法已不能適應，必要借助特種精密零件（jiàn）加工（gōng）的（de）方法，即應用化學能、電化學能、熱能或電能等（děng），使這些能量超越原子間的聯合能，從而去（qù）除工件外表的部分原子（zǐ）間的附著、聯合（hé）或晶格變形，以達（dá）到超精密加工（gōng）的（de）目的。屬於這類加（jiā）工的有（yǒu）機械化學拋光、離子濺射（shè）和離子注入、電子束（shù）曝（pù）射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子（zǐ）束外延等。
